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OTSUKA廣州代理OTSUKA 顯微晶圓厚度檢測設(shè)備 SF-3000M 大塚電子

產(chǎn)品名稱：OTSUKA廣州代理OTSUKA 顯微晶圓厚度檢測設(shè)備 SF-3000M 大塚電子

產(chǎn)品型號：OTSUKAOTSUKA SF-3000M

生產(chǎn)廠商：OTSUKA大塚電子

產(chǎn)品數(shù)量：不限

產(chǎn)品單價：電議

詳細(xì)介紹

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顕微光學(xué)系の採用によりTSVビア裏面のSi厚み測定が可能 0.5～1600µmのSi厚み測定微小位置観察カメラによる測定位置の自動位置決め精度畫像認(rèn)識によるオリフラ?ノッチ角度検出精度５秒以內(nèi) 分光干渉法により非接觸?非破壊で高い再現(xiàn)性を?qū)g現(xiàn) 貼り合せウェーハの薄膜ボンディング、Si厚み、サポート基板のトータル厚み測定多層厚み測定が可能オリフラ、ノッチの畫像認(rèn)識によるウェーハ面內(nèi)高精度位置決めを?qū)g現(xiàn)
測定項目
微小領(lǐng)域の厚み測定、膜厚解析仕　様
型式 SF-3000M 光學(xué)系顕微光學(xué)系厚み測定範(fàn)囲 0.5 ～ 1600µm 可動軸 XY 測定徑 φ3 ～ φ70µｍステージ面サイズ φ300 mm 可動軸ストロークＸＹ軸:±150㎜ウェーハサイズ 300 ｍｍ以下計測時間 61 ポイント / 120s 以下 * 大駆動速度 140 ｍｍ /s ステージ分解能 0.1 µm以下繰り返し位置決め精度 1 µｍ以下その他機能畫像処理によるオリフラ及びノッチ合わせ機能吸著あり特注アライメント対応、ローダ対応 *　高精度位置決めモードの場合

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藤野貿(mào)易（廣州）有限公司
地址：廣州市天河區(qū)中山大道中138號匯勤商業(yè)大廈715室
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