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OTSUKA廣州代理OTSUKA 450mm晶圓厚度檢測(cè)設(shè)備 SF-450M 大塚電子

產(chǎn)品名稱：OTSUKA廣州代理OTSUKA 450mm晶圓厚度檢測(cè)設(shè)備 SF-450M 大塚電子

產(chǎn)品型號(hào)：OTSUKAOTSUKA 450mm SF-450M

生產(chǎn)廠商：OTSUKA大塚電子

產(chǎn)品數(shù)量：不限

產(chǎn)品單價(jià)：電議

詳細(xì)介紹

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450mmウェーハまでの厚み測(cè)定 0.5～1600µmのSi厚み測(cè)定畫像認(rèn)識(shí)によるオリフラ?ノッチ角度検出精度５秒以內(nèi) 分光干渉法により非接觸?非破壊で高い再現(xiàn)性を?qū)g現(xiàn) 貼り合せウェーハの薄膜ボンディング、Si厚み、サポート基板のトータル厚み測(cè)定多層厚み測(cè)定が可能オリフラ、ノッチの畫像認(rèn)識(shí)によるウェーハ面內(nèi)高精度位置決めを?qū)g現(xiàn)
測(cè)定項(xiàng)目
厚み測(cè)定膜厚解析
仕　様
型式 SF-450M 光學(xué)系光學(xué)プローブ厚み測(cè)定範(fàn)囲 0.5 ～ 1600µm 可動(dòng)軸 XY 測(cè)定徑 φ6、φ9、φ500µm ステージ面サイズ φ450mm 可動(dòng)軸ストロークＸＹ軸:±225㎜ウェーハサイズ 450 ｍｍ以下計(jì)測(cè)時(shí)間 61 ポイント / 120s 以下 * 大駆動(dòng)速度 140 ｍｍ /s ステージ分解能 0.1 µm以下繰り返し位置決め精度 1 µｍ以下その他機(jī)能畫像処理によるオリフラ及びノッチ合わせ機(jī)能吸著あり特注アライメント対応、ローダ対応
*　高精度位置決めモードの場(chǎng)合

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藤野貿(mào)易（廣州）有限公司
地址：廣州市天河區(qū)中山大道中138號(hào)匯勤商業(yè)大廈715室
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郵編：510000
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網(wǎng)址：www.fujinotrade.com 或　www.fujino.net.cn

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