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OTSUKA大塚電子
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OTSUKA廣州代理OTSUKA 光譜干擾晶圓厚度計 SF-3 大塚電子

產(chǎn)品名稱：OTSUKA廣州代理OTSUKA 光譜干擾晶圓厚度計 SF-3 大塚電子

產(chǎn)品型號：OTSUKAOTSUKA SF-3

生產(chǎn)廠商：OTSUKA大塚電子

產(chǎn)品數(shù)量：不限

產(chǎn)品單價：電議

詳細(xì)介紹

OTSUKA大塚電子廣州代理,大塚電子廣州代,OTSUKA大塚電子廣州代理,藤野貿(mào)易（廣州）有限公司,OTSUKA大塚電子代理商. 光譜干擾晶圓厚度計 SF-3日本OTSUKA大塚電子光譜干擾晶圓厚度計SF-3日本OTSUKA大塚電子光譜干擾晶圓厚度計SF-3日本OTSUKA大塚電子光譜干擾晶圓厚度計SF-3日本OTSUKA大塚電子光譜干擾晶圓厚度計SF-3日本OTSUKA大塚電子光譜干擾晶圓厚度計SF-3日本OTSUKA大塚電子製品情報特　長
光學(xué)式により非接觸?非破壊での厚み測定が可能スペクトル解析後による條件出し高速でリアルタイムに研磨モニタが可能保護(hù)フィルム、窓材など中間層越しの計測が可能多層厚み解析獨自解析エンジンを搭載（特許出願中）厚み測定に適な獨自の解析アルゴリズムを採用（特許取得済み）厚み分布を自動でマッピング可能
測定項目
膜厚解析（5層）
用　途
Si部材の厚み評価シリコン、化合物半導(dǎo)體の研削評価用 1.3mm　次世代450mmウェーハ 775µm　300mmウェハ TSVウェーハ（ビア上Si膜やSi層膜測定）シリコンウェーハ以外の素材にも幅広く対応（SiO2、樹脂膜）仕　様
型式 SF-3 厚み測定範(fàn)囲 0.1µm～10µm、15µm～1000µm、10µm～775µm * 、50µm～1600µm* 繰り返し精度 0.01%以下測定時間速200µs（5kHz）測定用光源半導(dǎo)體光源測定徑小φ6µm WD 10mm以上の任意の距離による寸法 123（W）×224（D)×128（H）mm（突起物を除く） *　ただし表面狀態(tài)による
12インチウェーハ以下高速マッピング可能なコンパクトマッピング仕様
高速Rθステージ　SF-3Rθ

特　長

Rθ可動軸による高速マッピング仕様コンパクト設(shè)計マッピングステージ半導(dǎo)體プロセス裝置への組込み可能（組込みマッピング仕様）オリフラ、ノッチの畫像認(rèn)識機能分光干渉法により非接觸?非破壊で高い再現(xiàn)性を?qū)g現(xiàn) 貼り合せウェハの薄膜ボンディング、Si厚み、サポート基板のトータル厚み測定多層厚み測定が可能オリフラ、ノッチの畫像認(rèn)識によるウェーハ面內(nèi)高精度位置決めを?qū)g現(xiàn)　

仕　様
型式 SF-3Rθ 光學(xué)系光學(xué)プローブ厚み測定範(fàn)囲 0.5 ～ 1600µm * 可動軸 Rθ 測定徑 φ6、φ9、φ500µm ステージ面サイズ φ300mm 可動軸ストローク R軸：±150mm、θ軸：360° ウェーハサイズ 300ｍｍ以下計測時間 61ポイント/60ｓ以下大駆動速度 150ｍｍ/ｓステージ分解能 10µｍ以下繰り返し位置決め精度 50µｍ以下その他機能畫像処理によるオリフラ及びノッチ合わせ機能吸著あり特注アライメント対応、ローダ対応
*　分光器のタイプに依存

OTSUKA大塚電子廣州代理,大塚電子廣州代,OTSUKA大塚電子廣州代理,藤野貿(mào)易（廣州）有限公司,OTSUKA大塚電子代理商.

藤野貿(mào)易（廣州）有限公司
地址：廣州市天河區(qū)中山大道中138號匯勤商業(yè)大廈715室
： -
郵編：510000
郵箱：zhf#fujinotrade.com
網(wǎng)址：www.fujinotrade.com 或　www.fujino.net.cn

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傳感器
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